VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4
XI Ltd.
XI Spectral Data Processor
XI ASCII
Manganese: Mn(2p3) & Mn(2p1), BE Cu(2p3)= 932.69eV
1
0.05 eV/step, Sum of 15 repetitive etch/scans
NORM
REGULAR
1
0
0
0
0
0
1
0.05 eV/step, Sum of 15 repetitive etch/scans
Manganese: Mn(2p3) & Mn(2p1), BE Cu(2p3)= 932.69eV
2003
4
28
23
24
45
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
14.26
1
0
0
1000
2000
55
0
data_1
data_1
-1
Binding energy
eV
660
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.1
72
4.00E-06
0
0
0
0
1202
5
291
0.483199
0.491889
81
0.491889
83
0.491874
87
0.491859
67
0.491845
63
0.49183
96
0.491815
86
0.4918
87
0.491785
75
0.49177
89
0.491755
91
0.491741
92
0.491726
72
0.491711
83
0.491696
71
0.491681
74
0.491666
84
0.491651
68
0.491636
75
0.491622
83
0.491607
71
0.491592
74
0.491577
81
0.491562
86
0.491547
82
0.491533
70
0.491518
81
0.491503
90
0.491488
90
0.491473
74
0.491458
83
0.491444
86
0.491429
90
0.491414
85
0.491399
74
0.491384
61
0.491369
78
0.491355
72
0.49134
79
0.491325
84
0.49131
85
0.491295
76
0.49128
87
0.491266
87
0.491251
77
0.491236
75
0.491221
92
0.491206
76
0.491191
72
0.491177
78
0.491162
70
0.491147
69
0.491132
75
0.491117
67
0.491103
84
0.491088
94
0.491073
81
0.491058
81
0.491043
80
0.491029
80
0.491014
83
0.490999
83
0.490984
90
0.490969
88
0.490955
76
0.49094
76
0.490925
74
0.49091
75
0.490895
75
0.490881
67
0.490866
74
0.490851
75
0.490836
66
0.490822
72
0.490807
78
0.490792
75
0.490777
76
0.490762
74
0.490748
75
0.490733
81
0.490718
82
0.490703
69
0.490689
81
0.490674
70
0.490659
62
0.490644
89
0.49063
78
0.490615
95
0.4906
84
0.490585
73
0.49057
77
0.490556
74
0.490541
81
0.490526
82
0.490511
74
0.490497
70
0.490482
77
0.490467
68
0.490452
97
0.490438
77
0.490423
77
0.490408
98
0.490393
73
0.490379
72
0.490364
78
0.490349
75
0.490335
81
0.49032
79
0.490305
91
0.49029
78
0.490276
66
0.490261
76
0.490246
93
0.490231
94
0.490217
73
0.490202
77
0.490187
91
0.490173
78
0.490158
84
0.490143
76
0.490128
85
0.490114
92
0.490099
82
0.490084
88
0.49007
85
0.490055
80
0.49004
95
0.490025
92
0.490011
85
0.489996
86
0.489981
72
0.489967
89
0.489952
81
0.489937
81
0.489922
107
0.489908
84
0.489893
101
0.489878
90
0.489864
94
0.489849
84
0.489834
96
0.48982
91
0.489805
76
0.48979
93
0.489776
73
0.489761
99
0.489746
93
0.489731
93
0.489717
98
0.489702
97
0.489687
86
0.489673
102
0.489658
86
0.489643
112
0.489629
84
0.489614
100
0.489599
100
0.489585
88
0.48957
95
0.489555
91
0.489541
87
0.489526
99
0.489511
103
0.489497
107
0.489482
105
0.489467
101
0.489453
82
0.489438
110
0.489423
112
0.489409
119
0.489394
105
0.489379
112
0.489365
123
0.48935
130
0.489336
99
0.489321
120
0.489306
127
0.489292
119
0.489277
113
0.489262
126
0.489248
105
0.489233
113
0.489218
106
0.489204
138
0.489189
129
0.489175
124
0.48916
122
0.489145
121
0.489131
142
0.489116
113
0.489101
136
0.489087
149
0.489072
141
0.489057
155
0.489043
141
0.489028
147
0.489014
152
0.488999
148
0.488984
169
0.48897
164
0.488955
175
0.488941
167
0.488926
126
0.488911
135
0.488897
163
0.488882
144
0.488868
141
0.488853
151
0.488838
146
0.488824
159
0.488809
138
0.488795
120
0.48878
130
0.488765
119
0.488751
117
0.488736
120
0.488722
112
0.488707
117
0.488692
118
0.488678
101
0.488663
94
0.488649
106
0.488634
91
0.488619
89
0.488605
86
0.48859
81
0.488576
85
0.488561
83
0.488547
86
0.488532
65
0.488517
99
0.488503
72
0.488488
63
0.488474
93
0.488459
68
0.488445
71
0.48843
64
0.488415
73
0.488401
66
0.488386
72
0.488372
74
0.488357
70
0.488343
78
0.488328
94
0.488314
60
0.488299
77
0.488284
71
0.48827
66
0.488255
69
0.488241
76
0.488226
88
0.488212
78
0.488197
74
0.488183
54
0.488168
68
0.488153
76
0.488139
77
0.488124
59
0.48811
80
0.488095
77
0.488081
66
0.488066
88
0.488052
66
0.488037
57
0.488023
56
0.488008
64
0.487994
58
0.487979
82
0.487965
62
0.48795
66
0.487936
73
0.487921
56
0.487906
69
0.487892
71
0.487877
77
0.487863
68
0.487848
56
0.487834
63
0.487819
60
0.487805
57
0.48779
69
0.487776
87
0.487761
66
0.487747
70
0.487732
59
0.487718
74
0.487703
64
0.487689
65
0.487674
70
0.48766
70
0.487645
59
0.487631
57
0.487616
61
0.487602
60
0.487587
69
0.487573
73
0.487558
62
0.487544
68
0.487529
77
0.487515
69
0.4875
56
0.487486
63
0.487472
66
0.487457
63
0.487443
79
0.487428
64
0.487414
67
0.487399
73
0.487385
58
0.48737
69
0.487356
50
0.487341
76
0.487327
69
0.487312
75
0.487298
66
0.487283
72
0.487269
73
0.487254
51
0.48724
76
0.487226
79
0.487211
65
0.487197
65
0.487182
63
0.487168
75
0.487153
60
0.487139
74
0.487124
64
0.48711
76
0.487095
66
0.487081
64
0.487067
65
0.487052
60
0.487038
75
0.487023
72
0.487009
72
0.486994
77
0.48698
62
0.486966
81
0.486951
61
0.486937
81
0.486922
85
0.486908
89
0.486893
86
0.486879
54
0.486864
65
0.48685
72
0.486836
79
0.486821
73
0.486807
73
0.486792
59
0.486778
75
0.486764
80
0.486749
81
0.486735
83
0.48672
77
0.486706
89
0.486691
83
0.486677
85
0.486663
76
0.486648
72
0.486634
84
0.486619
85
0.486605
77
0.486591
82
0.486576
73
0.486562
87
0.486547
90
0.486533
81
0.486519
79
0.486504
86
0.48649
87
0.486475
114
0.486461
86
0.486447
92
0.486432
91
0.486418
72
0.486404
101
0.486389
115
0.486375
114
0.48636
105
0.486346
111
0.486332
97
0.486317
119
0.486303
96
0.486288
109
0.486274
100
0.48626
112
0.486245
113
0.486231
118
0.486217
123
0.486202
129
0.486188
109
0.486174
128
0.486159
126
0.486145
106
0.48613
121
0.486116
115
0.486102
142
0.486087
147
0.486073
116
0.486059
120
0.486044
144
0.48603
140
0.486016
139
0.486001
153
0.485987
149
0.485973
184
0.485958
151
0.485944
180
0.48593
178
0.485915
183
0.485901
171
0.485887
185
0.485872
203
0.485858
200
0.485843
179
0.485829
228
0.485815
223
0.4858
205
0.485786
215
0.485772
237
0.485758
258
0.485743
258
0.485729
259
0.485715
265
0.4857
287
0.485686
291
0.485672
279
0.485657
269
0.485643
254
0.485629
268
0.485614
238
0.4856
214
0.485586
196
0.485571
171
0.485557
127
0.485543
122
0.485528
97
0.485514
88
0.4855
82
0.485486
68
0.485471
57
0.485457
50
0.485443
38
0.485428
27
0.485414
29
0.4854
35
0.485385
27
0.485371
24
0.485357
22
0.485343
22
0.485328
28
0.485314
22
0.4853
25
0.485285
28
0.485271
23
0.485257
22
0.485243
16
0.485228
16
0.485214
17
0.4852
12
0.485185
17
0.485171
16
0.485157
24
0.485143
21
0.485128
8
0.485114
9
0.4851
16
0.485086
12
0.485071
19
0.485057
19
0.485043
17
0.485028
18
0.485014
21
0.485
10
0.484986
12
0.484971
9
0.484957
8
0.484943
13
0.484929
6
0.484914
15
0.4849
11
0.484886
12
0.484872
12
0.484857
11
0.484843
14
0.484829
10
0.484815
23
0.4848
11
0.484786
10
0.484772
15
0.484758
15
0.484743
11
0.484729
12
0.484715
13
0.484701
9
0.484687
12
0.484672
9
0.484658
13
0.484644
12
0.48463
18
0.484615
9
0.484601
7
0.484587
12
0.484573
11
0.484558
9
0.484544
12
0.48453
11
0.484516
9
0.484502
9
0.484487
10
0.484473
12
0.484459
15
0.484445
13
0.484431
10
0.484416
10
0.484402
5
0.484388
8
0.484374
7
0.484359
7
0.484345
10
0.484331
13
0.484317
8
0.484303
11
0.484288
12
0.484274
10
0.48426
11
0.484246
14
0.484232
12
0.484218
10
0.484203
7
0.484189
11
0.484175
13
0.484161
14
0.484147
13
0.484132
12
0.484118
8
0.484104
9
0.48409
8
0.484076
11
0.484061
18
0.484047
15
0.484033
9
0.484019
13
0.484005
7
0.483991
7
0.483976
22
0.483962
8
0.483948
9
0.483934
10
0.48392
10
0.483906
15
0.483891
11
0.483877
13
0.483863
13
0.483849
11
0.483835
16
0.483821
9
0.483806
11
0.483792
10
0.483778
10
0.483764
15
0.48375
8
0.483736
13
0.483722
7
0.483707
7
0.483693
11
0.483679
6
0.483665
5
0.483651
12
0.483637
7
0.483623
10
0.483608
11
0.483594
9
0.48358
15
0.483566
11
0.483552
10
0.483538
8
0.483524
6
0.483509
8
0.483495
9
0.483481
12
0.483467
9
0.483453
5
0.483439
11
0.483425
10
0.483411
12
0.483396
10
0.483382
12
0.483368
9
0.483354
12
0.48334
13
0.483326
10
0.483312
12
0.483298
16
0.483284
10
0.483269
11
0.483255
9
0.483241
12
0.483227
10
0.483213
14
0.483199
end of experiment
